삼성, 내년 1조원 R&D센터 착공
초미세 공정 공동개발 우위 확보
SK, 수소가스 재활용 기술 개발
‘비용절감·친환경’ 일석이조 효과
“장비 제조 실력 키울 기회 삼아야”

삼성전자와 SK하이닉스가 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML과 기술협력 수준을 높이면서 총성 없는 반도체 전쟁에서 유리한 고지를 선점했다. 삼성은 반도체 초미세 공정 개발에서 한발 앞설 수 있게 됐고 SK하이닉스는 비용 절감, 친환경이라는 ‘두 마리 토끼’를 잡을 수 있게 됐다.

삼성전자와 ASML이 12일(현지시간) 체결한 ‘극자외선(EUV) 공동연구소 설립’에 관한 업무협약(MOU) 내용을 보면 한국에 연구개발(R&D)센터를 짓는다는 게 핵심이다. 차세대 메모리 노광(반도체 기판인 웨이퍼에 미세한 전자회로를 빛으로 그리는 공정) 장비 개발을 위해 반도체 제조 기업과 장비 기업이 손을 잡은 셈이다.

반도체 초미세 공정에 필수인 EUV 노광 장비를 독점 생산하는 ASML이 한국에 R&D센터를 두기로 한 것은 메모리 반도체 1위 국가로 차세대 노광 기술 확보에 유리하다는 전략적 판단을 했기 때문으로 분석된다.

1조원이 투입되는 R&D센터는 경기 화성, 용인에 조성되는 반도체 클러스터에 들어설 것으로 관측된다. ASML은 내년 말 완공을 목표로 화성에 반도체 장비 수리 센터 등도 짓고 있다.

양사 개별 투자 금액 등 구체적인 내용은 밝혀지지 않았지만 R&D센터에서 기술 개발과 함께 시험라인을 두고 성능·기능에 대한 검증까지 하는 게 삼성 입장에선 최상의 시나리오다. 박재근 한양대 융합전자공학부 교수는 “공동 연구로 개발 속도가 빨라지고 맞춤형 개발이 가능해지면 삼성이 대만 TSMC를 추격하는 데 있어서도 유리한 입장에 설 수 있다”고 내다봤다.

국내 반도체 생태계에도 적지 않은 영향을 끼칠 것으로 보인다. 고용 창출, 국내 설비소재 협력사의 동반 성장과 함께 장기적으로 반도체 인재 육성으로 이어질 수 있다.

SK하이닉스도 ASML과 함께 EUV 내부를 진공 상태로 유지하기 위해 활용하는 수소가스를 소각하지 않고 이를 연료전지로 재활용해 전력으로 쓸 수 있는 기술을 공동 개발하기로 했다. 수소가스 재활용으로 전력 사용량을 줄이면 비용 절감과 함께 탄소 저감까지 ‘일석이조’ 효과를 누릴 수 있게 된다.

전문가들은 이번 기술협력을 반도체 장비 제조 실력을 키우는 계기로 삼아야 한다고 강조했다. 김용석 성균관대 전자전기공학부 교수는 “미국의 제재로 자체 장비를 만들어 쓰는 중국의 실력이 계속 올라오고 있기 때문에 우리도 일부 국산 장비를 쓸 수 있게 반도체 장비 제조에 대한 투자를 병행할 필요가 있다”고 말했다.