반도체 웨이퍼에 아주 가는 선이나 미세한 회로 등 특정한 형상(패턴)을 대량으로 찍어낼 수 있는 ‘나노 임프린팅’ 장비가 국내에서 세계 최초로 실용화됐다.

한국기계연구원 이재종(44) 박사팀은 과학기술부 나노메카트로닉스 기술개발사업단의 지원을 받아 30억원의 연구비를 투입,3년여의 연구 끝에 70나노미터(㎚는 10억분의 1m) 이하의 패턴을 대량으로 찍어낼 수 있는 나노 임프린팅 장비를 개발, 생산했다고 22일 밝혔다.

나노임프린팅 장비는 고용량 데이터 저장장치, 디스플레이, 광학부품, 나노센서 등 기능성 나노부품 제작에 파급효과가 클 것으로 보인다. 특히 테라급 반도체 개발에도 크게 기여할 것으로 기대되고 있다.

현재 펜티엄급 PC 메모리 등의 회로 선폭은 200㎚ 수준이어서 이 장비를 이용할 경우 크기를 4분의1로 줄이거나 같은 크기에 다양한 기능을 추가할 수 있다. 연구팀은 이번 70㎚ 장비에 이어 50㎚ 패턴을 대량생산할 수 있는 장비를 개발중이며 20㎚ 패턴 장비 개발도 추진할 계획이다.

이 박사는 “나노부품 대량생산을 위한 핵심기술을 확보함으로써 나노 임프린팅 장비 분야의 세계시장을 선점할 수 있는 유리한 위치를 확보했다.”면서 “우리나라는 그동안 세계 최대 반도체 수출국임에도 생산설비의 80∼90%를 수입에 의존했지만, 향후 차세대 반도체 분야에서는 생산설비 수출국으로도 자리매김할 수 있을 것”이라고 말했다.

현재 미국 MI사 등 해외 업체들도 이같은 장비를 개발, 판매하고 있으나 아직 실험용 수준에 그치고 있다.

그러나 이 박사의 나노임프린팅 장비는 실제 산업현장에서 사용할 수 있는 것으로, 실용화 장비로는 세계 처음이다. 가격도 해외제품은 대당 20억원으로 고가인데 비해 이번 국산 장비는 3억∼5억원 수준으로 싸다.

나노메카트로닉스 기술개발사업단 이상록 사업단장은 “이달부터 ㈜새한을 통해 이 장비를 생산, 판매를 시작했다.”면서 “연말까지 50여대, 최대 250억원가량의 매출을 달성할 계획”이라고 말했다. 나노 임프린팅 장비의 세계시장은 지난해 140억원에 그쳤으나 오는 2009년에는 4600억원으로 급증할 것으로 전망되고 있다.

장세훈기자 shjang@seoul.co.kr