◎90억 투입… 7년 연구끝에/미·일등 5개국 특허 획득/가격 저렴/반도체 소재 수입대체효과 클듯

반도체산업의 원천소재인 고순도 다결정 입장 실리콘 제조공정이 세계에서 두번째로 국내에서 개발됐다.

동부제강과 한국화학연구소 공동연구팀(연구책임자 정홍용상무·김희영박사)은 총90억원의 연구비를 투입,7년간의 연구끝에 삼염화실란(TCS)을 원료로 하는 알갱이 상태의 다결정 실리콘을 제조하는데 성공했다고 19일 발표했다.

알갱이 상태의 다결정실리콘은 종래의 막대기형태(봉장)제품과 달리 연속적인 다결정실리콘 성장을 가능케 해 미국 일본 독일등 반도체 소재 생산국들의 집중 연구대상이 돼 왔다.

국내팀이 이번에 개발한 다결정입상실리콘제조공정은 현재 세계시장을 독점하고 있는 미국 에틸사가 모노실란(SiH4)을 원료로 하고있는 것과 달리 삼염화실란을 사용한 전혀 새로운 방식으로 제조가 쉽고 값이 싼데다 품질에 있어서도 제품에 기공이 없고 결정이 치밀한 특성을 지닌것으로 알려졌다.

연구를 수행한 화학연구소 김희영박사는 『초단파 가열방식에 의해 반응기 내부의 실리콘 입자를 직접 가열하고 가열된 입자 표면에 원료가스인 삼염화실란을 증착시키면서 고순도 실리콘을 석출하는게 기술의 핵심』이라고 설명하고 『이 기술과 관련,미국 일본 독일 이탈리아등 5개국에 7건의 특허를 이미 획득했다』고 밝혔다.

화학연구소와 개발사의 이름을 따 「KRICT/DONGBU공정」이라 명명된 이번 기술개발로 국내 전자산업은 반도체의 기본 소재인 다결정 실리콘제작기술을 확보,막대한 수입 대체효과를 기대할 수 있게 됐다.

현재 국내 다결정실리콘 수요는 93년기준 연간 5백t 수준이나 2000년대에는 연간 15%씩 1천t으로 성장,5천만달러의 수입대체 효과가 예상된다.

동부제강은 삼염화실란 제조공정을 포함,실리콘 생산 전공정의 제품화 계획을 세우고 있으나 일본 유럽등 업체들이 기술이전 의사를 밝혀와 기술수출 가능성도 검토하고 있다고 밝혔다.